COSMOS 새로운 우주 반도체 재료 가스 탐지기 XPS-7스토어 가기

COSMOS 새로운 우주 반도체 재료 가스 탐지기 XPS-7

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상세페이지

COSMOS 新宇宙半导体材料气体检测仪 XPS-7

COSMOS 新宇宙半导体材料气体检测仪 XPS-7

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特征

  • 传感器单元可根据气体更换,一个单元可检测各种半导体材料气体。
  • 由于是盒式传感器单元,因此无需校准气体检测仪,可以减少维护时间和成本。
  • 重量仅为 1.3 kg 的紧凑轻量型。
  • 随着气体浓度的变化,警报声(断断续续的声音)的速度逐渐变化,当浓度变高时,会发出连续的声音通知,便于识别气体泄漏的位置。

采用

  • 用于半导体工厂等使用有毒气体的场所的气体泄漏检查和浓度测量。

产品规格

规格/标准
  • 气体取样方式:自动抽吸式
  • 乙硅烷:FS / 25p
  • 宽度(毫米):62
  • 深度(毫米):128
  • 高度(毫米):150
  • 氨:FS / 100ppm
  • 硅烷:FS / 25ppm
  • 二氯硅烷:FS / 25ppm
  • 胂:FS / 250ppb
  • 磷化氢:FS / 1.0ppm
  • 乙硼烷:FS / 500ppb
  • 硒化氢:FS/250ppb
  • 德语:FS / 1.0 ppm
  • 氯气:FS / 5ppm
  • 三氟化氯:FS/1.0ppm
  • 氯化氢:FS/25ppm
  • 氟化氢:FS/10ppm
  • 溴化氢:FS/10ppm
  • 一氧化氮:FS/100ppm
  • 硫化氢:FS/50ppm
  • 一氧化碳:FS / 250ppm
材料 ――――
质量/质量单位
  • 1.3公斤

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