日本供应！！EBARA 荏原干式真空泵EV-M202N
日本供应！！EBARA 荏原干式真空泵EV-M202N
EV-M 型 干式真空泵是节能、高负荷工艺的理想选择 能够在重负荷下进行处理 兼容高温控制 节能 采用耐腐蚀材料标准 耐腐蚀性增强选项 在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
荏原 （EBARA） 独特的高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。
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