Lintec 琳得科 MC-3102S低差压质量流量控制器
Lintec 琳得科 MC-3102S低差压质量流量控制器
低差压质量流量控制器，最小工作压差为 800 Pa。 通过专有的环境温度补偿传感器、低压降规格和 ±1% F.S. 的精度来降低压降。 独特的压电陶瓷致动器阀，可在低压差下实现精确的流量控制和稳定性。 低压差 （800Pa） 工作温度：5~50°C 金属密封件 清洁（保证颗粒） 环境温度补偿传感器 RS-485 通信 选择 微流量 F.S. 使用示例 低蒸气压、气体、低温流量控制 MC-3000S 是一种低差压质量流量控制器，由于其专有的低压降结构，只要二次侧处于真空状态，就可以在室温下控制 H2O 等液体原料的流量。 推荐用于 ITO 溅射方法等，其中少量水蒸气被送入真空室。 此外，还可以在室温下控制低蒸气压固体原料（如 XeF2）的流速。 减压罐式容器 （SDS 容器） 的流量控制 在离子注入机中，使用 AsH3 和 PH3 等特殊材料气体，通常使用安全输送源 （SDS） 容器来安全稳定地供应它们。 SDS 的罐压低于大气压，需要具有低压差和流量控制的 MFC。 MC-3000S 具有独特的低压降结构，允许以 800 Pa （6 Torr） 的最小压差进行流量控制。
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